%0 Book %T Entwicklung eines Hochfrequenz-Rasterkraftmikroskop-Testsystems für die Untersuchung von Hochfrequenzbauelementen und -schaltungen %A Leyk, Andreas %S Fortschritt-Berichte VDI 694 %D 1998 %7 Als Ms. gedr. %I VDI-Verl. %C Düsseldorf %@ 3183694085 %G German %F 271966424 %O Andreas Leyk %O Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1998 %O Archivierung prüfen 20200919 DE-640 2 pdager %L 37 %9 theses %9 Text %9 Hochschulschrift