@Book{80681988X,
author="Plappert, Mathias Karl Heinrich",
title="Untersuchungen an diffusionsstabilen Aluminium-Silizium Barrieren f{\"u}r die Halbleiter in der Leistungselektronik",
year="2014",
abstract="Die vorliegende Arbeit untersucht WTi- und WTiN-Diffusionsbarrieren. Die werkstoffphysikalischen Eigenschaften werden in Abh{\"a}ngigkeit des Sputterprozesses umfangreich evaluiert. Dies geschieht sowohl experimentell, theoretisch als auch simulativ. Der Einfluss der D{\"u}nnschichtcharakteristika auf die Barrierenstabilit{\"a}t wird mit Hilfe von Beschleunigungstests und analytischen Methoden ermittelt. Die Integration von langzeitstabilen Diffusionsbarrieren auf Leistungshalbleitern ist ein weiterer Bestandteil dieser Arbeit.",
note="vorgelegt von Mathias Karl Heinrich Plappert",
note="Rostock, Univ., Fak. f{\"u}r Informatik und Elektrotechnik, Diss., 2014",
url="http://rosdok.uni-rostock.de/resolve?urn=urn:nbn:de:gbv:28-diss2014-0184-9",
url="http://rosdok.uni-rostock.de/resolve?urn=urn:nbn:de:gbv:28-diss2014-0184-9&pdf",
url="http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:28-diss2014-0184-9",
language="German"
}